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見えない光で観る

講師 江島丈雄　（東北大学　多元物質科学研究所）
【講師プロフィール】
東北大学　理学部および理学研究科卒　理学博士
専門は、真空紫外・極紫外・軟Ｘ線領域（30nm～2nm）の光の利用法と光学素子開発、 さらに開発した利用方法と光学素子を用いた物性研究を行っています。
URL http://www.tagen.tohoku.ac.jp/modules/laboratory/index.php?laboid=43
　我々が見ている光は、３８０ｎｍから７５０ｎｍの波長をもつ可視光と呼ばれる電 磁波です。この可視光を用いて小さい物体を観察する手段が光学顕微鏡ですが、波長 より小さい物を見ることは出来ません。より小さな物を見るために色々な方法があり ますが、そのひとつは光の波長を短くすることです。波長が短い光（波長２００ｎｍ 以下）には、可視光とは異なる独特の性質があります。授業では、実際に我々が開発 している透過型Ｘ線反射多層膜顕微鏡（TXM3）とその原理を述べ、さらにこれらの技 術の重要な応用先として半導体リソグラフ技術との関連についても触れます。

透過型Ｘ線反射多層膜顕微鏡（TXM3）の構造とその概観

評価用に撮影したＸ線画像。露光時間10nsec。